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上海微系统所采用MEMS芯片气相原位TEM技术揭示氢气传感器的失效机制

上海微系统所采用MEMS芯片气相原位TEM技术揭示氢气传感器的失效机制

本文来源:中国科学院近日,中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员李昕欣团队采用基于MEMS芯片的气相原位透射电镜(TEM)表征技术,探究了Pd-Ag合金纳米颗粒催化剂在MEMS氢气传感器工况条件下的失效机制(图1)。4月13日,相关研究成果作为Supplementary Cover论文,以In Situ TEM Technique Revealing the Deactivation Mech